進口氦質(zhì)譜檢漏儀發(fā)生故障如何處理,如何維護保養(yǎng)?

更新時間：2020-12-27

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　　進口氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用廣泛，在檢漏作業(yè)中，根據(jù)不同產(chǎn)品對密封的要求多采用負壓法，正壓法和壓氦法三種檢漏方法。儀器具備檢測靈敏度高、反應(yīng)速度快、定位定量準確等優(yōu)點而被廣泛應(yīng)用，但是在長時間的使用過程中常常會出現(xiàn)一些故障現(xiàn)象，從而影響設(shè)備的正常使用。那么我們怎么解決這寫故障呢？

　　一、進口氦質(zhì)譜檢漏儀的故障和處理

　　1、內(nèi)部的泄漏

　　當檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時，會對檢漏工作造成較大干擾，容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點，更換密封件。

　　2、本底信號不穩(wěn)定

　　①本底信號過高有可能是環(huán)境本底被污染，注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏。將室內(nèi)的門窗打開通風，降低環(huán)境本底。

　　②本底信號過高也有可能是因為質(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時，質(zhì)譜室很容易被污染，需返廠進行清洗，本底信號不穩(wěn)定，檢查電源電壓是否穩(wěn)定，檢漏儀應(yīng)有可靠的接地。

　　③本底信號不穩(wěn)定，檢查泵油是否渾濁，被污染。

　　二、進口氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項

　　1、如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時的開機時間

　　2、拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進行自身檢漏。

　　3、適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。

　　4、檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）

　　5、禁止任何外來物掉在或灑在檢漏儀上，尤其是進氣口中，由于氦檢漏儀為高精度儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓或有資格的設(shè)備維護工程師，才能使用此儀器。

　　6、使用時，注意觀察進口氦質(zhì)譜檢漏儀的運行情況，一旦發(fā)現(xiàn)問題（如較大振動、高噪音等），儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉(zhuǎn)中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。馬上切斷電源，并排除故障。

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